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D’une résolution de 0.27nm, le MET est doté d’un filament LaB6 et de caméras 2K et grand angle. Il possède une large gamme d’équipements d’analyse tels que l’EDX, le Gatan Image Filter (EELS - EFTEM) et le mode STEM (BF - DF - HAADF), permettant l’analyse chimique et structurale de matériaux à l’échelle nanométrique. Différents portes-échantillons, bénéficiant de simple ou double tilts, fonctionnent à des températures entre -170°C et 1000°C. Possibilité de couplage avec ARAMIS et/ou IRMA, quasi-unique au monde de part la diversité des ions et énergies disponibles, connu sous le nom de JANNuS-Orsay, pour étudier in situ à l’échelle nanométrique l’évolution des modifications microstructurales et chimiques dans un matériau induites par un ou deux faisceaux d’ions simultanés. Il existe un Groupement d’Intérêt Scientifique JANNuS avec la plateforme JANNuS-Saclay (triple faisceau au CEA Saclay).

Une ligne de faisceau extrait à l’air pour l’analyse PIXE, PIGE et RBS d’objets fragiles. Détecteurs Si(Li) et Ge pour détection X et gamma. Détecteurs de particules (PIPS). Electronique de mise en forme et acquisition MPA3 FastCom Tech. Dosage, PIXE, RBS, PIGE